透射电子显微术

在透射电子显微镜中，利用高能电子束通过试样时产生的各种信息研究物质微观结构的分析技术。经加速的高能电子束通过试样时和物质原子发生交互作用，形成透射电子、衍射电子等，它们和物质的结构与成分密切相关。单独利用透射电子束或衍射电子束成像，可以获得明场像或暗场像；同时利用透射电子束和一束或多束衍射电子束成像，可以得到高分辨结构图像。明场像、暗场像、高分辨结构图像，都是反映物质内部不同层次结构细节的图像。透射电子显微术能够在原子和分子尺度直接观察材料的内部结构；能方便地研究材料内部的相组成和分布，以及晶体中的位错、层错、晶界和空位团等缺陷，是研究材料微观组织结构的有力工具。近代透射电子显微术包括分析衍射谱以获得衍射物质晶体结构和位向的信息，以及利用高能入射束照射试样微小区域产生的X射线进行成分分析等内容，还包括对不同成像模式下所获得的各种图像进行分析以得到其他物质结构信息（例如晶体不完整性等）的有关技术。