分析电子显微术

样品被高能电子束照射时，收集、测定和分析从样品局部区域发射出的各种不同信号的理论和技术。分析电子显微镜能将聚焦很细的电子束打到试样上一个微小的区域中，产生各种不同的信号，经过分析处理，给出试样的微观形貌、结构和成分等综合信息。它可以提供晶体结构、对称性、缺陷区域的原子排列，有序合金中有序度变化情况等信息，测定预沉淀微小颗粒结构及样品厚度、位错布氏矢量、显微应力分布、点阵常数等，精确测定局部区域样品的结构因子；从X射线能谱和电子能量损失谱可以测定试样的成分、广延精细结构、样品厚度；从二次电子像、背散射电子像得到样品的形貌及定性的原子序数信息；场发射枪电子显微镜还可利用全息技术得到物质结构的信息、。高空间分辨率分析电子显微术是一种研究物质超显微尺度的原子排列、原子种类、原子位置、元素价态的方法。目前该技术尚处于兴起发展阶段，在固体物理、固态化学、材料科学、地质矿物学等领域迅速发展 。