二次离子质谱

缩写为SIMS。一种重要的表面成份分析技术。以能量为ke V数量级的离子（通常为惰性气体离子）束轰击固体表面，用质谱分析由表面溅射出来的离子（即二次离子），便可确定表面成份。二次离子质谱的优点是灵敏度极高，可达10-5—10-6，在表面成份分析技术中居首位。