离子束分析

ion beam analysis利用离子束与物质的相互作用来获得有关材料的元素分布和结构分析方法的总称。通常用的离子束分析方法有：次级离子质谱或离子探针，离子散射谱(ISS)，核背散射技术（RBS)及沟道和阻塞效应，离子感应脱附谱(ISD）和质子诱导X线荧光谱(PIX）等。这些分析方法的共同点是：先用一定的方法产生一束具有一定能量和只包含一种质量数的离子，使它聚焦后以高度的准直性射到物体表面，当它同材料中的原子相互作用后，可以产生有散射的离子、次级离子、原子或X射线等，用质谱或能谱分析这些离子，就可获得有关材料的组成和结构方面的信息。它已成为现代分析技术中一种极为有效的方法。