微区分析

microanalysis在物质的微小区域中进行元素鉴定、组成分析和形貌分析。被分析的体积通常小于1 μm3，相应被分析物质的质量为10-12g量级。为了实现微区分析，通常采用一定能量的初级微粒子束，如电子、离子等作为微探针去激发固体，从而获得有关被分析微区的元素组成、分子组成以及原子价态等信息。