表面分析

表面物理学实验研究的手段。主要包括表面结构、成分和表面电子态的分析。 表面结构分析的目的在于探测表面原子的排列状况，通常采用低能电子衍射（LEED）、反射式高能电子衍射（RHEED）、广延X射线吸收边精细结构（EXAFS ）、场发射（FED）、场离子发射（FIM）等方法。 表面成分的分析是为了鉴定表面的原子组份，通常借助于各类谱仪进行，如俄歇电子谱（AES）、 X射线光电子谱（XPS） 、紫外光电子谱（UPS）、低能离子散射谱（ISS）、二次离子质谱（SIMS）以及离子探针（IMA）等。 另外，用红外光吸收和电子能量损失谱（EELS）研究表面声子态从而获得诸如吸附物与衬底的化学键等方面的信息，也是表面分析的重要内容。 表面电子态分析旨在了解局域在表面的电子能级按能量的分布及其被电子占有的情形。常用的方法包括光吸收、光电导、椭偏术以及光电发射。不同的方法各有所长，而以光电发射得到的信息最为直观。