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深圳清华大学研究院微纳工程重点实验室

机构类型 大学
规范名称 深圳清华大学研究院微纳工程实验室
负责人 雒建斌
机构简介         该室是深圳清华大学研究院与清华大学摩擦学国家重点实验室共建的重点研究机构,是清华大学摩擦学国家重点实验室在深圳设立的分研究室(深圳微纳工程研究室),是深圳清华大学研究院研究实力最强的实验室之一。实验室主要研究开发方向为高精表面抛光技术及相关产品,即面向集成电路芯片、计算机硬盘盘片、磁头、半导体晶片、衬底材料、光纤连接器、宝石、光学玻璃、金属材料等表面超精抛光领域的相关技术及产品。实验室承担着一批国家、省部级重点研究项目。
学科分类 工程通用技术
学科研究范围 微纳制造及纳米摩擦学跨学科研究。
联系信息
通信地址 广东省深圳市南山区深圳高新技术产业园南区  (广东省深圳市南山区 邮政编码:518057 区号:0755)
电话 (0755)  28770593,26957301
传真 (0755)  26957301
电子邮件 pangs@tsinghua.edu.cn

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