超微量切除

在超精密和微细加工中，工件需要经过几道加工工序加工，但是，决定工件精度和表面粗糙度的还是最后一道工序的最后一次走刀。在这次走刀中，按照微切入，其除去的余量与工件所要求的精度的数量级相当，甚至小于其公差要求，便能达到精度要求。 超精密加工技术受到加工方法、工件和刀具材料、测量技术和工人技术水平等几方面的因素所制约。欲达到0. 1μm的加工精度，通常工件表面的粗糙度不能超出0.01μm级，即表面粗糙度（粗糙度高度）必须比加工精度低一个数量级。这就要求在选择加工方法和研制特殊机床和刀具时，必须考虑到：最后一道加工工序能够从工件表面除去小于或等于最后精度等级的表面层。例如，工件尺寸精度要求0. 2μm，则最后一次的表面切除层的厚度不得大于0. 2μm。这就是超微量切除原则。按照这个原则，在超精密加工中，如果着眼于0. 1～0. 01μm的精度，则所采用的加工工艺必须是与这个精度相应的超微量切除工艺。现在已经采用的这种工艺有：金刚石刀切削、金刚石刀振动切削（或称为超声振动切削）、超声波修整砂轮镜面磨削、超精密磨削，研磨、超精密光整加工、弹性发射切削和机械化学研磨等超微量切除方法。