微型机构

（Micromechanism）采用精密加工技术或半导体加工技术实现微米级运动的机构。20世纪80年代末，随着生物传感技术、微驱动技术、新材料技术的发展，人们实现了机构、驱动器、传感器、控制器一体化的高度集成，创造出新型的机械，建立了一门概念全新的学科，使机械进入了微观领域。 目前微型机构研究领域有：（1）传统机械微型化在生物医学界，若干种微操作器已进入实用阶段，完成了细胞植入或显微手术操作。（2）利用半导体技术研制微型机构用多晶硅制成转动关节和移动关节，通过优化组合实现各式各样的微机构。（3）分子机构探索生物驱动机构原理，启发人们研制新的微型机构。（4）机构选型微型机构在农业、医学、工业、航天和军事等方面有着十分广阔的应用前景。