X射线能谱分析

X-ray spectrome-tric analysis以高能X射线辐照样品，可以从样品原子最内层轨道激发出电子。由此形成的缺少内层电子的激发态离子极不稳定，其外层电子迅速向内层空穴跃迁，同时发射另一能量的次级X射线。以上的退激发过程持续进行可得到不同线系的X射线。电子从不同外层向K层跃迁时所发射出的X射线称为K系X射线，其中Kα、 Kβ、 Kγ等线分别产生于电子由L层、M层、N层向K层的跃迁过程。同理，L系X射线产生于电子从不同外层向L层的跃迁过程等等。对于轻元素，只能产生K系X射线；对于重元素则除了K系、L系X射线外，还可能产生其他X射线谱系，但出射的X射线的强度很弱。不同的X线系的能量不同，可通过能量色散的方式获得X射线强度随能量（以keV为单位）变化的能量谱图。在能谱图上可以给出各种能量的特征X射线的强度和能量峰位置，它可以作为元素定量和定性分析的依据。