微加速度计

借助半导体加工工艺，在单晶硅或石英晶体上制作出微型结构部件，并把相关的电子线路也集成在同一芯片上的加速度计。它感测加速度的原理与一般的加速度计相同。根据信号检测元件的不同，微加速度计分为压阻式、电容式、静电力平衡式和石英振梁式等类型。压阻式微加速度计结构如图所示，其硅制检测质量由单挠性臂或双挠性臂支承，在挠性臂处采用离子注入法形成压敏电阻。当有加速度a输入时，检测质量m受惯性力ma作用产生偏转，并在挠性臂上产生应力，使压敏电阻的电阻值发生变化，从而提供一个正比于输入加速度的输出信号。 目前，美国德雷珀公司100 g量程的微加速度计的偏值稳定性为1 mg，标度因数稳定性为500 ppm。微加速度计已在汽车、导弹、制导弹药等领域得到应用，在航空、油田开采、机器人等领域可望得到广泛应用。其预期主要指标为：测量最大值70 g，偏值稳定性5×10-4g。